層流壓差流量計是基于哈根泊肅葉定律設(shè)計的,可以任意切換多種氣體,無需轉(zhuǎn)換系數(shù)。該定律描述了在溫度、管徑等參數(shù)一定的情況下,圓管內(nèi)的不可壓縮流體是層流運動狀態(tài)時,體積流量與壓降線性相關(guān)。通過讀取層流元件兩端的壓差信號,計算出體積流量,再對該體積流量進(jìn)行壓力和溫度修正,從而獲得標(biāo)準(zhǔn)體積流量和質(zhì)量流量。
在相同的溫度和管徑下,氣體的體積流量與氣體的壓差和粘度呈線性關(guān)系。因此,通過對氣體粘度的測量和控制,可以得到無換算系數(shù)的氣體體積流量。層流壓差質(zhì)量流量計的響應(yīng)時間關(guān)鍵在于層流元件兩端壓差信號的獲取速度,而這個時間取決于壓力波的傳播速度(壓力波是聲波的一種),因此其的響應(yīng)時間快。
層流壓差流量計應(yīng)用領(lǐng)域:
1、精密部件的密封性測試和尺寸精密測量
用于閥門等機(jī)械構(gòu)件氣密性指標(biāo)的氣體泄漏量精密測量,以及小孔尺寸和過濾材料透氣性等的測量。
2、化工石油等流程工業(yè)
用于微型反映試驗裝置中微小氣體流量的測量和控制。
3、表面處理
用于真空鍍膜、汽車玻璃鍍膜、自動化噴漆、等離子體噴涂中氣體的精密測量和控制。
由于層流壓差質(zhì)量流量計可以應(yīng)用于低壓氣體以及低壓液體的測量和控制,性能比較突出,因此在制造業(yè)中應(yīng)用非常廣泛。
4、半導(dǎo)體行業(yè)
用于擴(kuò)散、氧化、外延、等離子刻蝕、濺射、氣相沉積等工藝設(shè)備中,測量和控制工藝氣體流量。
5、食品、生物行業(yè)
用于生產(chǎn)過程中的滅菌工藝、配料、配氣、排氣檢測及生物反應(yīng)器等流量測控。
6、分析儀器采樣器測量
用于氣相色譜儀和環(huán)境保護(hù)等分析儀器氣體取樣量或大氣采集量的精密測量。