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簡(jiǎn)要描述:——對(duì)控制精度、重復(fù)性有更高要求的行業(yè)配套客戶優(yōu)選MC200高精型氣體層流質(zhì)量流量控制器與通過(guò)產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及核心算法,在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。堅(jiān)固的金屬外殼,使產(chǎn)品在工業(yè)復(fù)雜環(huán)境下確保耐用性和強(qiáng)抗電磁干擾性能,同時(shí),內(nèi)置多種氣體和混氣設(shè)置,數(shù)字式和模擬式的通訊方式,實(shí)現(xiàn)流量
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category詳細(xì)介紹
品牌 | 易度智能 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
---|---|---|---|
精度 | ±0.5%?S.P. | 重復(fù)性 | ±0.1%F.S. |
工作流量范圍 | 1%~120%F.S. | 介質(zhì)溫度 | -20℃~60℃ |
環(huán)境溫度 | -20℃~50℃ | 使用濕度 | 0%~98%(無(wú)冷凝) |
工作壓力 | 0-1MPa | 供電電壓 | 24V±20% |
介質(zhì) | 49種,混合氣體可編輯 |
——對(duì)控制精度、重復(fù)性有更高要求的行業(yè)配套客戶優(yōu)選
MC200高精型氣體層流質(zhì)量流量控制器與SC200系列控制器的區(qū)別在于沒(méi)有觸摸式顯示屏,通過(guò)產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及核心算法,在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。堅(jiān)固的金屬外殼,使產(chǎn)品在工業(yè)復(fù)雜環(huán)境下確保耐用性和強(qiáng)抗電磁干擾性能,同時(shí),內(nèi)置多種氣體和混氣設(shè)置,數(shù)字式和模擬式的通訊方式,實(shí)現(xiàn)流量的精確測(cè)量和控制。
量程范圍:0.5sccm~5000slpm
特征:
l 原理:層流壓差式流量計(jì)
l 高精度:±0.5%設(shè)定值精度
l 高重復(fù)性:±0.1%F.S.
l 寬溫度、寬壓力適用范圍:-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)
l 標(biāo)配:數(shù)字信號(hào)RS485,選配:模擬信號(hào)0-20mA或0~5V
l 內(nèi)置49種氣體和混氣測(cè)量
l 提供上位機(jī)軟件實(shí)時(shí)顯示和下載數(shù)據(jù)信息
使用條件:
l 兼容內(nèi)置的49種氣體和可編輯的混合氣體
l 閥門(mén)種類(lèi):N/C(常閉型)
l 工作流量范圍:1%~120%F.S.
l 介質(zhì)溫度:-20℃~60℃
l 環(huán)境溫度:-20℃~50℃
l 使用濕度:0%~98%(無(wú)冷凝)
l 工作壓差范圍:100kPa~700kPa
l 工作壓力:1Mpa
l 耐壓:1.5Mpa
l 供電電壓:﹢(19~29)VDC
l 消耗電流:<150mA (供電電壓為24v時(shí)) <300mA(<5V)
l 安裝方式:任意角度
l 進(jìn)出口:管螺紋(內(nèi)螺紋)
l 接氣部材質(zhì):SUS304,SUS316L
l 接氣部密封材質(zhì):橡膠圈密封:氟橡膠
應(yīng)用場(chǎng)景
l 光學(xué)、原子鍍膜設(shè)備中的流控器件
l 制造設(shè)備中流控系統(tǒng)的集成和配套
l 精細(xì)化工生產(chǎn)線中的流控器件
l 生物反應(yīng)器成套設(shè)備中的流控器件
l 配氣系統(tǒng)或裝置中的流控器件
l 分析儀器、科學(xué)儀器中的流控器件
l 定制化成套自動(dòng)化設(shè)備中的流控器件
MC200高精型氣體層流質(zhì)量流量控制器適用于對(duì)精度、重復(fù)性要求更高的配套用戶。
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